百級(jí)無塵車間的空氣中的塵埃顆粒數(shù)量非常少，一般每立方英尺內(nèi)，0.5微米粒徑的塵埃不超過100個(gè)，由此被稱為百級(jí)。這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)來源于美國聯(lián)邦209E。它也可以換算成立方米，每立方米內(nèi)，0.5微米粒徑的塵埃不超過3520個(gè)（或更少）。此外，0.2微米粒徑的塵埃不超過23700個(gè)，0.3微米粒徑的塵埃不超過10200個(gè)。